Qalabka RF Plasma ee khadka Vacuum

Qalabka balasmaha ee khadka RF ee faakuumka ah waa qalab gaar ah oo loo sameeyay nadiifinta iyo hawlgelinta sagxadaha sagxadaha wareegga wareegga, gaar ahaan codsiyada substrate-ka IC. Waxaa inta badan la adeegsadaa ka dib marxaladda sawiridda filimka qalalan iyo daahan{1}} daahan maaskaro alxanka ah, halkaas oo diyaarinta saxda ah ee dusha sare ay muhiim u tahay hagaajinta xoogga ku dheggan iyo hubinta kalsoonida sare inta lagu jiro hababka xiga. Marka lagu dabaqo daaweynta balaasmaha gudaha qolka faakuumka la kantaroolo, nidaamku wuxuu si wax ku ool ah u saarayaa hadhaaga organic iyo wasakhowga dusha sare, isagoo kor u qaadaya waxqabadka guud ee isku xidhka iyo tayada alaabta.

Sifada gaarka ah ee qalabkani waa labadeeda - qaab dhismeedka qolka. Qol kastaa waxay si madax banaan ugu qalabaysan tahay bamka faakuumka ah iyo koronto dhaliyaha balasmaha RF, kaasoo awood u siinaya hawlo isbarbar socda ama isticmaalka beddelka ah. Tani kaliya ma kicinayso wax soo saarka laakiin sidoo kale waxay bixisaa dabacsanaan hawleed. Si loo ilaaliyo xasilloonida muddada dheer-, nidaamku waxa uu isku xidhaa{5}} module qaboojinta kaas oo hubiya heerkulka shaqaynta joogtada ah ee bambooyin iyo ilalaha balaasmaha. Khadadka wax-soo-saarka ee u baahan otomaatiga, hababka rarida iyo dejinta ikhtiyaarka ah ayaa lagu dari karaa si loo yareeyo maaraynta gacanta oo loo fududeeyo xidhiidhka aan toosnayn ee kor iyo hoosba qalabka.

Qulqulka walxaha ee nidaamka ayaa si taxadar leh loo qaabeeyey. Looxyada waxaa la geeyaa xarunta wax galinta waxaana lagu xafidaa qalabka robotka, ka dibna ku dhejiya substrate-ka qayb hoose{1}} Iyada oo ay taageerayaan madal wiish ah iyo rollers-ka la wado, looxyada waxaa loo gudbiyaa qolka faakuumka si loogu daweeyo balaasmaha. Marka farsamaynta la dhammeeyo, isla rollers-kii ayaa ka wareejinaya looxyada qolka, halkaas oo xajiyeyaasha ay mar kale soo qaadaan oo u gudbiyaan marxaladda xigta. Qaabka hoose ee - si toos ah ayuu wareegyada u dhexeeya saldhigyada, isaga oo hubinaya habsami u socodka shaqada oo aan lahayn waqti hoos u dhac aan loo baahnayn.