Codsiyada gaarka ah ee Nadiifiyeyaasha Plasma

Mashiinnada nadiifinta/sixidda balaasmaha waxay dhaliyaan balaasmaha iyagoo laba electrodes gelinaya weel xiran si ay u abuuraan beer koronto. Bamka faakiyuumku waxa loo isticmaalaa in lagu ilaaliyo heer vacuum gaar ah. Marka gaasku uu noqdo mid naadir ah, masaafada u dhaxaysa molecules iyo dhaqdhaqaaqa xorta ah ee molecules ama aions ayaa sidoo kale kordheysa. Iyada oo ay saameyn ku leedahay beerta korantada, ion-yadani way isku dhacaan oo sameeyaan balasma. Iions-yadani aad bay u falceliyaan, oo leh tamar ku filan oo ay ku jebiyaan ku dhawaad ​​dhammaan curaarta kiimikaad, taasoo keenta fal-celin kiimikaad oog kasta oo bannaan. Balaasmooyinka gaaska kala duwan waxay leeyihiin sifooyin kiimiko oo kala duwan. Tusaale ahaan, balasmaha oksijiinta ayaa ah mid aad u oksaydheyn ah, oo awood u leh inay oxidizing photoresist si ay u soo saarto gaaska, sidaas darteed lagu gaaro saameyn nadiif ah. Plasma gaaska qudhuntay waxay leedahay anisotropy heer sare ah, kaas oo buuxiya shuruudaha etching. Daaweynta Plasma waxay soo saartaa dhalaal, markaa magaca dheecaanka dhalaalka ah.
Habka nadiifinta balaasmaha wuxuu ugu horreyntii ku tiirsan yahay "firfircoonida" ee walxaha firfircoon ee ku jira balaasmaha si meesha looga saaro wasakhda dusha sare. Marka la eego habka falcelinta, nadiifinta balasmaha guud ahaan waxay ku lug leedahay habka soo socda: gaasaska aan dabiiciga ahayn waxay ku faraxsan yihiin gobolka balasmaha; walxaha gaaska ayaa lagu dhejiyaa dusha adag; Kooxaha la isku dhejiyay waxay la falgalaan molecules dusha adag si ay u sameeyaan unugyo wax soo saar; Unugyada alaabtu waxay u jajabaan wajiga gaaska; iyo hadhaaga falcelinta ayaa laga saarayaa oogada.

Tilmaamaha ugu muhiimsan ee tiknoolajiyada nadiifinta balaasmaha waa in ay daweyn karto nooc kasta oo substrate ah, oo ay ku jiraan biraha, semiconductors, oxides, iyo inta badan alaabta polymer sida polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, iyo xitaa polytetrafluoroethylene. Waxay nadiifin kartaa dhammaan dusha sare iyo meelaha gaarka ah, iyo sidoo kale dhismayaal adag.